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技術支持

超聲波干式清洗技術

超聲波干式清洗技術是一種高速氣流與超聲波共同作用,對超精密待清洗件(如半導體器件,玻璃或硅基板等)亞微米級別的污染物進行清洗的新型的超聲波清洗機之干式清洗技術。一般包括三大系統:


空氣循環系統;

清洗件傳送系統; 

超聲清洗頭??諝庋h系統利用負壓作用將新空氣不斷吸入并凈化后輸入清洗頭壓力腔,同時利用離心力將內部空氣不斷送出;清洗件傳送系統將待清洗件傳送給超聲波清洗頭。


核心部件超聲波清洗頭主要有兩類:一類空氣流經特殊設計的變截面流道時,經激流震蕩生成超聲波,但這種超聲波的強度弱,傳遞能量少。另一類內置超聲波增幅器,超聲波空氣在大小約 0.3mm 的出口處體積迅速膨脹,達到一種“微型爆炸”的效果。高速氣流和超聲波的共同作用使污物微粒脫離懸浮,超聲波的反射作用將微粒帶動起來,由清洗頭的真空吸附腔吸走并分離,這種清洗方式杜絕清洗劑對環境造成污染。


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